IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing conference proceedings
收录 759 篇论文，累计被引 1,955 次，出版年份 1997–2024。
- 收录篇数
- 759
- 总被引
- 1,955
- 篇均被引
- 2.6
- 单篇最高被引
- 50
- 年份区间
- 1997–2024
- 近五年篇数
- 73
逐年收录分布
近 12 个有收录的年份（最多 40 个）。悬停查看当年篇数。
查看数据表
| 年份 | 篇数 | 占比 |
|---|---|---|
| 2024 | 36 | 4.7% |
| 2022 | 37 | 4.9% |
| 2020 | 39 | 5.1% |
| 2018 | 52 | 6.9% |
| 2016 | 48 | 6.3% |
| 2007 | 118 | 15.5% |
| 2006 | 117 | 15.4% |
| 2005 | 1 | 0.1% |
| 2003 | 108 | 14.2% |
| 2002 | 200 | 26.4% |
| 1999 | 1 | 0.1% |
| 1997 | 2 | 0.3% |
代表作
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