Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
收录 11,628 篇论文，累计被引 243,664 次，出版年份 1991–2009。
- 收录篇数
- 11,628
- 总被引
- 243,664
- 篇均被引
- 21
- 单篇最高被引
- 2,828
- 年份区间
- 1991–2009
- 近五年篇数
- 0
逐年收录分布
近 19 个有收录的年份（最多 40 个）。悬停查看当年篇数。
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| 年份 | 篇数 | 占比 |
|---|---|---|
| 2009 | 629 | 5.4% |
| 2008 | 471 | 4.1% |
| 2007 | 486 | 4.2% |
| 2006 | 600 | 5.2% |
| 2005 | 564 | 4.9% |
| 2004 | 664 | 5.7% |
| 2003 | 549 | 4.7% |
| 2002 | 560 | 4.8% |
| 2001 | 528 | 4.5% |
| 2000 | 672 | 5.8% |
| 1999 | 635 | 5.5% |
| 1998 | 736 | 6.3% |
| 1997 | 541 | 4.7% |
| 1996 | 810 | 7.0% |
| 1995 | 589 | 5.1% |
| 1994 | 788 | 6.8% |
| 1993 | 559 | 4.8% |
| 1992 | 579 | 5.0% |
| 1991 | 668 | 5.7% |
代表作
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